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Epc微壓力控制器/電子壓力控制器采用的控制算法與高靈敏度傳感器,實現快速、穩定的壓力設定與控制。具備優異的重復精度與長期穩定性,適用于對壓力控制有苛刻要求的工藝場景,如半導體薄膜沉積、氣體混合配比、閥門校準等。
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