蘇州昀控電子科技有限公司致力于開發精準、穩定、快速、可重復性高的流體測量和控制產品，為客戶提供可持續性發展價值。主要產品有高精度電容薄膜真空計、高精度氣體質量流量控制器和高精度壓力控制器等，部分產品可適配或對標國外同類產品的應用場景。產品廣泛應用于航天航空、半導體、泛半導體、光伏、醫藥、化學工業、石油冶煉、電子器件等相關領域以及各大科研院校。憑借穩定的性能和良好的客戶服務，產品贏得了市場的廣泛認可。

半導體工藝

環境監測設備

微反應裝置及材料制備實驗裝置 (CVD ) 

氣體發生器

配氣混氣系統

功能介紹

Function Introduction

功能                           說明

累計流量                  可通過 Mod bus-R TU 協議讀取累計流量

獨立使用                   無需連接任何設備,  可通過按鍵和顯示完成大部分功能操作             多種量程選擇            最小量程 10sc cm,  最大量程 500sl pm

內置40種基本氣體  內置40種基本氣體,  氣體種類可定制                                          10種自定義混合氣   可根據使用需求,  自定義混合氣

多電氣接口              標準配置 1個DC插座, 2個RJ45接口,  1個DB9接口            模擬控制                    0-5V 模擬控制信號輸入輸出

數字控制                  按鍵控制或使用 RS-485通信控制                                                標準 Mod bus-RT U  RS-485通信采用標準 Mod bus-R TU 通信協議

參數自整定               控制參數可通過協議或按鍵實現自動調整到最佳PID控制參數        設定值記憶功能         開啟該功能后,  MFC可記錄斷電前最后一次設定值,  再次通電直接執行該設定值閥控功能                  可實現閥全開、閥全關、閥自動閉環控制功能                                  多臺設備串聯           通過更改通信地址,  最大可實現255臺設備串聯控制

自定義波特率            可通過Mod bus-R TU 設置自定義波特率                                       

選型參考

selection Reference