在半導(dǎo)體制造的前沿工藝中，臭氧（O?）因其的氧化能力和快速反應(yīng)速率，已成為的“工藝?yán)?。從原子層沉積（ALD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）到晶圓清潔和光刻膠剝離，臭氧的應(yīng)用貫穿了眾多關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其化學(xué)性質(zhì)極不穩(wěn)定，易受溫度影響而分解，尤其在一些需要低壓（如5 psia）供氣的先進(jìn)應(yīng)用場景中，臭氧的精準(zhǔn)測量與穩(wěn)定控制成為一項(xiàng)挑戰(zhàn)的課題。臭氧分解不僅是放熱反應(yīng)，還會(huì)釋放活性氧原子，若控制不當(dāng)，不僅影響工藝一致性，更可能因過熱引發(fā)安全隱患。

針對這一工藝痛點(diǎn)，蘇州昀控電子科技有限公司（簡稱：昀控）推出的高性能質(zhì)量流量控制器（MFC），為半導(dǎo)體行業(yè)提供了一套精準(zhǔn)、可靠的氣體測控解決方案。

專為“敏感氣體"而生，從源頭抑制熱分解

傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)在測量易熱分解氣體（如臭氧）時(shí)，傳感器本身的熱量可能會(huì)加速氣體分解，導(dǎo)致測量失真和控制漂移。昀控MFC深刻理解這一行業(yè)難題，其核心傳感器經(jīng)過優(yōu)化，可在0-50°C的低溫環(huán)境下穩(wěn)定工作，有效避免了傳統(tǒng)傳感器因高溫工作而對臭氧造成的額外熱影響。

通過采用獨(dú)特的環(huán)境溫度補(bǔ)償技術(shù)，昀控MFC能夠在不額外引入熱量的前提下，精確感知?dú)怏w流量，從源頭上抑制了臭氧在測量環(huán)節(jié)的熱分解。這一特性對于ALD等需要在低氣壓下精確供給臭氧的工藝尤為關(guān)鍵，確保了進(jìn)入反應(yīng)腔室的氣體濃度與流量高度一致，從而保障薄膜生長的均勻性與器件良率。

壓力控得穩(wěn)，流量才測得準(zhǔn)

在實(shí)際產(chǎn)線中，臭氧供氣管路的上游壓力波動(dòng)是導(dǎo)致流量控制失準(zhǔn)的常見誘因。昀控不僅提供性能優(yōu)異的MFC，更具備“壓力-流量-真空"一體化測控能力。其高精度電子壓力控制器（EPC）可與MFC形成閉環(huán)控制，在臭氧進(jìn)入MFC前先將壓力穩(wěn)定在設(shè)定值，有效消除了氣源波動(dòng)帶來的干擾，讓流量控制更加精準(zhǔn)，工藝重現(xiàn)性更高。

國產(chǎn)替代，更優(yōu)的交付與服務(wù)

作為扎根蘇州的國產(chǎn)精密測控企業(yè)，昀控依托長三角完備的產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢，其MFC產(chǎn)品在實(shí)現(xiàn)高精度（±0.2% F.S.）、快速響應(yīng)（<100 ms）和1000:1寬量程比的同時(shí)，交付周期相較于進(jìn)口品牌可縮短30%以上。同時(shí)，其內(nèi)置的20種基礎(chǔ)氣體庫及10種自定義混合氣功能，方便用戶在不同工藝間快速切換，無需返廠標(biāo)定，極大提升了設(shè)備的利用效率。

在臭氧這種特殊氣體的應(yīng)用中，蘇州昀控的MFC以“低溫傳感、精準(zhǔn)測控"為核心，配合的本地化技術(shù)支持，為半導(dǎo)體、新能源及精密化工行業(yè)提供了一個(gè)兼顧高性能與高性價(jià)比的可靠選擇，助力客戶在嚴(yán)苛的工藝挑戰(zhàn)中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定生產(chǎn)與降本增效。