在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形, 使得金屬膜片和電極之間的電

容變化, 通過測量電容的變化量, 即可知道金屬膜片上氣壓的變化：

• 這個描述符合薄膜真空計(jì)的工作原理。薄膜真空計(jì)利用一個金屬膜片（通常是不銹鋼或鈦合金制成）作為敏感元件。當(dāng)氣體壓力變化時，金屬膜片會發(fā)生形變，從而改變膜片與固定電極之間的距離，進(jìn)而影響電容。通過測量電容的變化，可以推算出氣壓的變化。

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