氣體質量流量計主要可按測量原理進行分類，其中 熱式、科里奧利式和層流式 是常見的幾種類型。這些流量計能夠直接測量氣體的質量流量，其測量結果通常不受氣體溫度和壓力的變化影響。
按測量原理，氣體質量流量計主要有以下幾種分類：
熱式質量流量計 （Thermal Mass Flow Meter）
基于熱擴散原理，通過測量氣體帶走的熱量來計算質量流量。它可以直接測量質量流量，無需進行溫壓補償，且無活動部件，壓力損失小，特別適用于測量低流速或微小的氣體流量。
科里奧利質量流量計 （Coriolis Mass Flow Meter）
利用科里奧利效應進行測量2。其工作原理是使測量管（通常為U形管）振動，當有流體通過時，流體微粒會受到科里奧利力的作用，產生的扭矩與流體的質量流量成正比。
層流式質量流量計 （Laminar Mass Flow Meter）
利用層流元件兩端的壓力差來測量流體的體積流量，再結合已知的溫度和壓力下的修正密度換算成質量流量。流體在通過層流元件時會被強制轉變為層流運動，然后通過壓差傳感器測得壓力差。
其他類型
搜索結果中還提到了其他一些基于不同原理的氣體質量流量計，包括：
質量平衡式 ：通過測量氣體進入和離開儀器的質量差異來計算質量流量。
絕壓差式 ：通過測量氣體在儀器前后的壓差以及體積和時間來計算質量流量。
能量平衡式 ：利用氣體在通過儀器前后分子能量的變化來計算質量流量
更新時間：2026-05-31
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