真空計(jì)（Vacuum Gauge），又名真空表，是測(cè)量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測(cè)量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。

　　經(jīng)常有同學(xué)詢(xún)問(wèn)真空計(jì)原理，這里為大家做個(gè)系統(tǒng)的解釋?zhuān)凑詹煌恼婵沼?jì)分類(lèi)，詳細(xì)說(shuō)明每種真空計(jì)的工作原理。

皮拉尼真空計(jì)原理：

　　利用電熱絲的能量損失與熱絲周?chē)臍怏w濃度及氣體成分成比例關(guān)系的原理，給燈絲通過(guò)恒流源供電加熱，由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開(kāi)時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì)發(fā)生變化（恒溫）引|起電橋（惠斯通）電阻變化，根據(jù)電阻變化測(cè)算出氣壓。

　　熱陰極電離規(guī)真空計(jì)原理：

　　高溫?zé)艚z發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去，形成帶正電的離子，帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出，離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系。

　　冷陰極電離規(guī)真空計(jì)原理：

　　冷陰極電離規(guī)也稱(chēng)為潘寧規(guī)，和熱陰極電離規(guī)類(lèi)似，仍是通過(guò)電離e氣體分子收集離子電流的方法進(jìn)行氣壓測(cè)量，但與熱陰極電離規(guī)不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。

　　真空計(jì)的量程范圍

　　在較高壓力時(shí)（10～1Pa）利用壓力差U型管壓力計(jì)，麥克勞真空計(jì)，薄膜計(jì)，彈簧管壓力計(jì)等。

　　在10～10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)（熱傳導(dǎo)，粘性）的變化而做成的皮氏計(jì)、粘性真空計(jì)。

　　在低壓力時(shí)，使用將氣體分子電離而測(cè)量的電離真空計(jì)。