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更新時間:2026-05-16
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電容薄膜真空計是一種絕壓、全壓測量的真空計,原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產生膜片間距離的變化,即產生了電容的變化,再通過鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化,組成為輸出信號,所以,它的測量是直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關,與氣體成分無關,即:薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。
而我們的真空設備的真空度測量控制常用的真空計往往是電阻計、熱偶計等等間接測量的真空計,是一種熱傳導型的真空測量方法,簡單一點來說,就是通過測量感受氣體溫度的方法來間接測量氣體壓強(真空度),是一種類似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測量方法,。由于測量原理上的先天不足,這類真空計的測量精度、測量穩定度是很不好的。其測量誤差一般比薄膜真空計大1~2個以上數量級(誤差大于30%,行業標準是50%),尤其是在低真空段,誤差更大,另外,使用過電阻計、熱偶計的度知道,這些儀表測量前還需要零點、滿度校正,怎么能夠用于在線測量控制呢?另外,遇到氫氣等小質量的氣體就無法測量了,如果要測,也查表換算,到底真空度是多少?
現代真空應用技術的發展,涉及的應用范圍越來越廣泛、真空應用設備對儀器儀表的要求越來越高,特別是對測量精度、穩定性要求、以及自動控制性能要求也越來越高,這直接關系到真空設備的整體性能質量,關系到真空應用技術或應用工藝的應用效果,成功與否。在精細化工、真空冶煉、真空單晶爐、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導體材料生產、高特新材料、新能源設備等等行業中尤其特出。
許多新設備、新工藝、新產品的開發之所以老是無法實現預想的技術指標和效果,往往就是因為真空測控儀表選型不當、其實際的測量控制精度無法達到設計要求所造成的。
當然,薄膜真空計也不是的,首先是價格高,國內一般是4-6千元,量限低的貴些;進口則1.6—2.5萬元/只左右;其次,國內老式的薄膜規容易零漂,需要經常校正,要求高的經常校正。主要是技術陳舊,國內材料科學相對落后造成的,溫度穩定性不好;還有一個量程跨度小,國內的不超過3個數量級。第三是國產規嬌氣,容易壞,有油污進去很難清洗,要用丙酮,清洗挽救13往往會報廢,小量程的23會壞。
所以,我們需要有一種具有國產價格、進口品質的、使用方便、經久耐用薄膜真空計。緊跟*的真空測量新技術,我們能夠做得到的。
分析國外的薄膜真空計與我們舊式國產產品的有什么不同呢?一是陶瓷薄膜真空壓力測量技術、二是智能儀表技術。首先是通過大規模厚膜電路(國內有些廠家還是20年前的007運放),將薄膜電容測量機構和傳感器調理電路微型化,做在陶瓷基片上,另外,將智能儀表電路微型化,一次儀表和二次儀表合二為一,所以量程寬、精度高、體積小;(其典型代表如萊寶627、英福康TCBG等等)。學習和引進*核心技術,采用*新型IC,根據我國真空設備配套測控儀表的特點,研制出的陶瓷薄膜真空計,其測量精度和穩定性已經*可以與進口產品相媲美了。根據國內設備的習慣,控制柜上數字面板表,還是經常使用的,采用專門設計的具有真空測控特點的精密二次儀器儀表,借籍于現代智能儀表技術的科技成果,有利于提供測量的精度、分辨率、穩定性和可靠性,增加智能化的自動控制功能,(可以配接任何一種模擬量、數字量的接口,比進口的薄膜真空計更靈活、更方便)
實踐證明,具有現代智能儀表技術的新型陶瓷薄膜真空計使用到(環保能源生物醫藥常用設備的)真空濾清、真空精餾真空冷凍干燥機、真空單晶爐、氣氛真空爐、、真空鍍膜機等設備,做真空測量和自動控制帶來*地方便和性能提高,可以快速升級為智能型的真空應用設備。當然,也可以用到科研實驗室、計量室作為相應的真空段的0.1級標準器,陶瓷芯片的優異性能使其年穩定度達到0.1%以上
蘇州市昀控電子科技有限公司代理上海振太的電容薄膜真空計,其CPDA/CPXA系列,可兼容MKS信號,協議 直接替代進口MKS 英福康等,在半導體,航空航天,核工業,軍工等領域有較豐富應用經驗。

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